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정밀 고저항 및 저전류 측정을 위한 3개 민감도 옵션 중에서 선택 할 수 있습니다. 5½ Digits 모델 6514 및 모델 6517B 전위계는 1fA 민감도, 200TΩ 이상의 입력 임피던스(전압 측정) 및 최저 10fC의 충전 측정 기능을 제공합니다. 6½ Digits 모델 6430 펨토 암페어 미만 단위 원격 SourceMeter SMU 장비는 1aA의 감도로 전류를 측정할 수 있습니다. 이 모델은 노이즈가 낮고 드리프트 성능이 뛰어나 단일 전자 장치, 고저항성 나노 와이어/나노 튜브, 중합체 및 전기 화학 적용 분야의 연구에 적합합니다.

특징	장점
매우 낮은 노이즈(6430의 경우 0.4fApp, 6517B 및 6514의 경우 1fA 미만)	장치 및 소재 연구에서 일반적으로 나타나는 매우 낮은 전류를 보다 정확하게 측정할 수 있습니다.
최대 10¹⁶Ω까지 측정(6517B)	초고저항 소재 및 절연체의 저항을 정확하게 측정할 수 있습니다.
신호 소스에 원격 프리앰프 배치 가능(6430)	신호 소스에 직접 연결하거나 초단거리에 연결할 수 있으므로 케이블 노이즈 등의 노이즈 소스를 최소화할 수 있습니다.
저부담 전압	저전류 측정의 정확도에 영향을 주는 오류를 방지할 수 있습니다.
스위 기능이 포함된 내장된 ±1kV 전압 소스 (6517B)	누설, 분석 및 저항을 간편하게 테스트할 수 있으며 고저항성 소재에서 체적(Ω-cm) 및 표전 저항(Ω/평방)도 측정할 수 있습니다.
샘플 소재의 체적 및 표면 저항성 측정을 위한 모델 8009 저항성 체임버(옵션, 6517B)	체임버의 뚜껑을 열면 장비 전압 소스가 자동으로 꺼지므로 위험할 수 있는 전압과의 접촉을 방지할 수 있습니다.
낮은 레벨의 신호에도 빠른 측정 속도 제공	낮은 레벨의 구성 요소를 더 빠르게 테스트할 수 있습니다.
프로그래밍 가능한 디지털 I/O 및 내장 인터페이스	자동화된 구성 요소 테스트 시스템을 간편하게 구축할 수 있습니다.

모델	전류	전압	저항	충전	소스
6514	100aA ~ 20mA	10㎶ ~ 200V	10mΩ ~ 200GΩ	10fC ~ 20μC	-
6517B	100aA ~ 20mA	10㎶ ~ 200V	100Ω ~ 10PΩ	10fC ~ 20μC	0 ~ ±1000V
6430	10aA ~100mA	1㎶ ~ 200V	1µΩ~20TΩ 초과	-	0 ~ ±200V 0 ~ ±100mA